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科學家制造出新型鈮酸鋰-氮化硅激光器
來源: | 作者:雋思半導體設備部 | 發(fā)布時間: 2023-05-04 | 771 次瀏覽 | 分享到:

EPFL和IBM的科學家們通過結合鈮酸鋰和氮化硅HMDS預處理系統(tǒng)創(chuàng)造了一種突破性的混合集成可調諧激光器,它具有低頻率噪音和快速的波長調諧。由于其獨特的性能組合,這種新的激光器在LiDAR、通信和量子計算方面具有廣闊的應用前景。

鈮酸鋰是一種經常被用于光學調制器的材料,用于調節(jié)通過設備傳輸?shù)墓獾念l率或強度。因其管理大量光功率的能力和高"波克爾斯系數(shù)"而受到高度重視。這使得該材料在被施加電場時能夠改變其光學特性。 


研究人員通過將鈮酸鋰與氮化硅相結合實現(xiàn)了他們的突破,這使他們能夠生產一種新型的混合集成可調諧激光器。為此,該團隊在EPFL制造了基于氮化硅的光的集成電路("光子集成電路"),然后在IBM將其與鈮酸鋰晶圓HMDS預處理系統(tǒng)粘合在一起。

這種方法產生了一種具有低頻率噪聲(衡量激光器頻率穩(wěn)定程度的標準)的激光器,同時具有快速的波長調諧功能--這對于用于光探測和測距(LiDAR)應用的激光器來說都是很好的品質。然后,他們進行了一個光學測距實驗,用該激光器高精度地測量距離。

除了集成激光器,該混合平臺還有可能實現(xiàn)用于電信的集成收發(fā)器以及用于量子計算的微波-光學傳感器。

領導該項目的EPFL方面的Tobias J. Kippenberg教授說:"這項成果的顯著之處在于,該激光器同時提供了低相位噪聲和每秒百萬赫茲的快速調諧,這是以前從未用這種芯片級集成激光器實現(xiàn)的。"  

這項研究得到了地平線2020框架計劃、瑞士國家科學基金會和空軍科學研究辦公室的資助。

芯片樣品是在EPFL的微納技術中心(CMi)和IBM研究院的Binnig和Rohrer納米技術中心(BRNC)制作的。